[1]陈松林,赵北君,朱世富,等.ZrO_2介质膜的光热吸收研究[J].四川师范大学学报(自然科学版),2004,(04):402-404.
 CHEN Song-lin~,ZHAO Bei-jun~,ZHU Shi-fu~,et al.[J].Journal of SichuanNormal University,2004,(04):402-404.
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ZrO_2介质膜的光热吸收研究()
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《四川师范大学学报(自然科学版)》[ISSN:1001-8395/CN:51-1295/N]

卷:
期数:
2004年04期
页码:
402-404
栏目:
出版日期:
1900-01-01

文章信息/Info

作者:
陈松林; 赵北君; 朱世富; 马平; 何知宇
四川大学材料科学系; 成都精密光学工程研究中心; 四川大学材料科学系 四川成都610064; 四川成都610064; 四川成都610041; 四川成都610064
Author(s):
CHEN Song-lin~1ZHAO Bei-jun~1ZHU Shi-fu~1MA Ping~2HE Zhi-yu (1. Department of Material Science Sichuan University Chengdu 610064 Sichuan; 2. Chengdu Fine Optical Engineering Research Center Chengdu 610041 Sichuan)
关键词:
ZrO2 直流反应溅射 光热效应 吸收系数
分类号:
TB383
摘要:
报道了用直流反应溅射法在低氧分压条件下(6.0×10-3~8.0×10-3Pa)沉积ZrO2介质膜的制备工艺,XRD分析表明该条件下制备的ZrO2介质膜结构均为非晶态,表面光热技术测量其在10.6μm波长下的吸收系数为1.223×10-3~1.285×10-3cm-1,且吸收率随氧分压的升高而降低.这表明,表面光热测量是一种既简单又有很高灵敏度的实时检测技术,而在直流反应溅射法中氧分压是一个非常敏感的工艺参数,并显著地影响着膜层的光吸收. 更多还原

备注/Memo

备注/Memo:
国家863 804基金资助项目
更新日期/Last Update: 1900-01-01